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lintec以太网CAT质量流量控制器MC-5000C 便携式超声波流量计
参考价:¥10000

型号:

更新时间:2024-03-24  |  阅读:952

详情介绍

lintec以太网CAT质量流量控制器MC-5000C

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用于 EtherCAT 通信的高性能质量流量控制器。

用于半导体工艺的高性能质量流量控制器EtherCAT通信版本。 它是半合规的,可以通过EtherCAT通信进行控制,EtherCAT通信用于半导体制造设备的高速传输系统。

半导体制造工艺所需的金属密封件和LINTEC的原始环境温度补偿流量传感器作为标准安装,并且可以作为液化气支架等选项添加。


特点

  • 准确度±1%SP

  • 金属密封件

  • 清洁(保证颗粒)

  • 环境温度保证传感器

  • EtherCAT通信

选择

  • 微流 F.S.

  • 兼容液化气

使用示例

EtherCAT通信设备的通信统一

越来越多的半导体制造设备配备了EtherCAT通信(数字I / F),用于高速控制机械臂等运输系统。 EtherCAT通信有65,536个节点,MFC的所有测量系统和运动系统元件都可以与EtherCAT通信统一。

lintec以太网CAT质量流量控制器MC-5000C

规格


温度最小压差最大压差精度控制范围标准最高 F.S.sdaM
15~35°C50kPa300kPa±1%自保2~100%F.S.10SCCM300SLM





* 规格表为具有一般规格的质量流量控制器。 可以通过选项进行更改。



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