lintec低压差质量流量控制器MC-3000S

低压差质量流量控制器，最小工作压差为800Pa。

使用示例

低蒸气压气体温度下的流量控制

MC-3000S是一款低压质量流量控制器，如果二次侧通过其专有的低压降结构进行抽真空，即使在室温下也能对H2O等液体原料进行流量控制。 推荐使用ITO溅射方法，该方法将少量水蒸气发送到真空室。 此外，即使在室温下，即使是低蒸气压的固体原料（如 XeF2），也可以进行流量控制。

减压罐船（SDS集装箱）的流量控制

离子注入机中使用AsH3和PH3等特殊材料气体，并且通常使用安全输送源（SDS）容器来安全稳定地供应它们。 SDS填充的罐压低于大气压，需要能够在低压差下控制流量的MFC。 MC-3000S 具有的低压降结构，可在低至 800 Pa（6 Torr）的压差下实现流量控制。

lintec低压差质量流量控制器MC-3000S

规格

* 规格表为具有一般规格的质量流量控制器。 可以通过选项进行更改。