lintec快速响应质量流量控制器MC-7000

超快质量流量控制器，响应时间为200毫秒。

热传感器实现100msec（典型值）的高速流量控制。 Lintec的非接触式热流量传感器和压电控制阀可实现腐蚀性气体的超快速流量控制。

它具有1.0%的SP±流量精度的高精度，可以选择数字通信方式DeviceNet和EtherCAT进行。

长处

• 超快流量控制 200 毫秒

• 准确度±1%SP

• 工作温度 5~50°C

• 金属密封件

• 清洁（保证颗粒）

• 环境温度补偿传感器

• EtherCAT通信

• 设备网络™通信

超快流量控制

使用示例

快速蚀刻工艺

在半导体制造过程中，需要在小型化的同时提高吞吐量。 即使在控制反应气体流量的质量流量控制器中，对缩短流量控制的启动（启动）时间的需求也在增加。 超高速质量流量控制器[MC-7000]是一种非接触式热流量传感器，不接触流量传感器和流量测量气体，实现200ms的超高速响应。 非接触式可实现腐蚀性气体流量测量的高速流量控制。

lintec快速响应质量流量控制器MC-7000

规格