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日本nanogray β射线测厚仪SB-1100系列
这是使用β射线(beta射线)的测厚仪(膜厚计)。以非接触方式(β射线)测量薄片和板状物体的厚度和密度(基本重量)。通过直接与参考物质比较来计算厚度和密度(基本重量),而不是直接测量厚度。
通常,为了测量片材的宽度方向上的厚度分布,检测系统由扫描仪携带并进行测量。通常使用激光位移计作为不接触地测量厚度的手段,但是如果将激光位移计安装在扫描仪上,则其传送的精度远远低于激光位移计的精度,从而导致结果。高精度测量是困难的。
另一方面,在诸如β射线测厚仪之类的通过透射衰减来估计厚度的方法中,测量了空气层-样本-空气层与渗透之间的衰减,但是样本的衰减远大于空气的影响,运输的影响仅表现为空气层厚度的变化,并且影响很小。因此,可以高精度地进行测量。
β射线测厚仪的一般特点
我们的β射线测厚仪与常规β射线测厚仪相比的特点
采用
日本nanogray β射线测厚仪SB-1100系列