详情介绍
日本nanogray X射线测厚仪SX-1100系列
使用软X射线(软X射线)的厚度计(膜厚度计)。以非接触方式(软X射线)测量薄片和板状物体的厚度和密度(基本重量)。通过直接与参考物质比较来计算厚度和密度(基本重量),而不是直接测量厚度。
通常,为了测量片材的宽度方向上的厚度分布,检测系统由扫描仪携带并进行测量。通常使用激光位移计作为不接触地测量厚度的手段,但是如果将激光位移计安装在扫描仪上,则其传送的精度远远低于激光位移计的精度,从而导致结果。高精度测量是困难的。
另一方面,在诸如X射线厚度计之类的通过透射衰减来估计厚度的方法中,测量了空气层-样品-空气层与透射之间的衰减,但是由于样品引起的衰减很大。比空气的厚度大,运输的影响仅表现为空气层厚度的变化,并且影响很小。因此,可以高精度地进行测量。
软X射线测厚仪的一般功能
与传统的软X射线测厚仪相比,我们的软X射线测厚仪的功能
采用
日本nanogray X射线测厚仪SX-1100系列