详情介绍
日本sanyu electron台式快速涂布机SC-708系列
特征
离子溅射设备,用于大型基材的全涂层
溅射靶材的尺寸为1英寸,例如4'/ 5'/ 6'/ 7'/ 8'。
在形成微通道流动路径以及溅射薄膜制造时支持PDMS表面处理
配备涂布模式/蚀刻模式
应用/结果示例
各种设备的电极膜附件
反光膜的制造应用
样品表面亲水处理的应用(蚀刻模式)
PDMS表面处理应用程序(蚀刻模式)等
日本sanyu electron台式快速涂布机SC-708系列
基本规格
阴极 | φ4-8英寸/ 2极电极 |
溅射电流 蚀刻电流 | 0-50mA(包括电流表) |
溅射电压 蚀刻电压 | 0.8 / 1.4kV |
气体导入机制 | 针阀 |
真空泵 | 直连式旋转泵:100l / min(有自动泄漏) |
箱体尺寸 | 内径φ240mmx D240mm(SUS制) |
样品交换方法 | 前门开合式 |
样本量 | z大φ4〜8英寸 |
尺寸(宽/深/高) | 主体:282/450 / 440mm RP:460/175 / 265mm |
重量 | 身体:约20kg RP:23kg |