详情介绍
日本sanyu electron台式快速涂布机SC-701HMCⅡ
特征
支持W(钨)/ Ni(镍)/ Cr(铬)/ Ti(钛)等成膜的DC溅射设备。
使用磁控管阴极
内置微型计算机对成膜过程进行高精度控制
操作方式为全自动/手动两种模式
标配自动快门机构
应用/结果示例
W / Ni / Cr / Ti等的成膜
燃料电池基础实验
日本sanyu electron台式快速涂布机SC-701HMCⅡ
基本规格
阴极 | φ2英寸磁控管阴极 |
快门机制 | 自动/手动操作 |
气体导入机制 | 针阀(自动/手动控制) |
真空泵 | 直连式旋转泵:100l / min(有自动泄漏) |
箱体尺寸 | 内径φ160mmx D160mm(SUS制) |
样品交换方法 | 前门开合式 |
尺寸(宽/深/高) | 机身: 360/360 / 260mm RP:174/460 / 264mm |
重量 | 身体:20公斤 RP:23公斤 |