日本advance交流光学法热扩散率测量仪LaserPIT
该装置是通过扫描激光加热AC法用于诸如薄膜,薄板和薄膜的薄板材料的面内热扩散率测量装置。
在高导热膜的情况下,也可以测量亚微米薄膜。
使用
- 高导热率薄板材料(厚度<500μm)的热扩散率/导热率测量,例如CVD金刚石和氮化铝
- 各种金属薄板材料(厚度> 5μm)的热扩散率/热导率测量,例如铜,镍和不锈钢
- 低热导率薄板材料(厚度<500μm)的热扩散率/热导率测量,例如玻璃和树脂材料
- 各向异性高导热石墨片(厚度<100μm),聚酰亚胺,PET和其他聚合物膜(厚度> 5μm)的热扩散率/导热率测量
- 测量在玻璃基板上形成的氮化铝薄膜,氧化铝薄膜(厚度为100-300 nm)等(厚度为30μm)的热导率
- 在玻璃基板(厚度0.03 mm)上形成的DLC薄膜(厚度> 1μm)的热导率测量
- 在PET基板上形成的有机染料薄膜(厚度为100-300 nm)(厚度为0.1 mm)的热导率测量
- 评估各种溅射靶材
特征
- 从金刚石到聚合物的各种钢板材料的面内热扩散率测量
- 适用于厚度为3至500μm的各种材料,例如自支撑片材,薄膜,电线和纤维
- 可以通过微分法测量在基板上形成的厚度为100 nm至1000 nm的薄膜的热导率*仅在室温下
- 可以通过简单的操作进行测量
- 可以通过专yong软件进行控制,测量和分析
- 主体紧凑地集成了所有光学,控制和测量系统
日本advance交流光学法热扩散率测量仪LaserPIT
规格
模型 | 激光PIT-R | 激光PIT-M2 |
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温度范围 | 逆时针 | 室温〜200℃ |
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交流电 | 激光二极管(685nm,30mW) |
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样品尺寸 | 自支撑薄板:宽度2.5至5毫米x长度30毫米x厚度3至500μm 基板上的薄膜:宽度2.5至5毫米x长度30毫米x厚度100纳米至1000纳米 |
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测量周期 | 0.05〜10 /秒 |
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测量气氛 | 在真空中 |
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薄膜的热导率测定方法(差值法)
LaserPIT使用玻璃基板来测量薄膜的热导率。通过仅在一个玻璃基板的一半表面上形成薄膜的方法来测量玻璃基板的膜形成区域和非沉积区域。根据“两个区域的测量结果”,“玻璃基板的厚度和体积比热容”以及“薄膜厚度和体积比热容”来评价薄膜的导热率。