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用于导电薄膜制造的溅射设备-台式涂布机
更新时间:2021-05-27      阅读:1467

 用于导电薄膜制造的溅射设备-台式涂布机

 

特征

  • 直流溅射类别中系列中小的超紧凑机型
  • 小型溅射装置,可以轻松地制造电极薄膜
  • 标配间歇溅射功能
  • 使用的样品台和载物台可以轻松更改TS之间的距离。

应用/结果示例

  • 各种设备的电极膜附件
  • 用于制造反射薄膜等的应用

基本规格

阴极φ2英寸/平板型电极
溅射靶包含金靶
气体导入机制针阀
间歇功能标配
真空泵直连式旋转泵:20l / min(带自动泄漏)
箱体尺寸内径φ90mmx D90mm(SUS制)
样品交换方法前门开合式
尺寸(宽/深/高)主体:160/326 / 286mm RP:300/160 / 200mm
重量身体:10公斤RP:9公斤

 

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