适用镍，铬，钨，钛，铝等金属涂布的实验涂布机

特征

• 直流溅射类别中系列中小的超紧凑机型
• 配备皮拉尼真空计，以确保成膜条件的可重复性
• 配备手动百叶窗作为标准装备
• 使用的样品台和载物台可以轻松更改TS之间的距离。
• 由于可以涂钨，因此也可以用于制备高分辨率SEM的样品。

应用/结果示例

• 各种设备的电极膜附件
• 用于制造反射薄膜等的应用

基本规格