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介绍用于半导体制造工艺和电路板安装工艺的称重传感器
更新时间:2024-09-11      阅读:345

介绍用于半导体制造工艺和电路板安装工艺的称重传感器


TEAC称重传感器的特点

  • 我们可以提供与您其他公司的称重传感器具有相同形状和性能的称重传感器。

  • 可以根据相同形状的称重传感器生产功能强大的定制版本。

  • 可以制造诸如晶体生长称重传感器等专用模型。

  • 我们专注于低容量和小尺寸产品。

拉锭

用于拉制半导体晶圆所需的硅、蓝宝石等单晶。
即使在各种气体环境下,也能高精度、稳定地检测提升过程中的微小负载变化。

通过在籽晶前端安装称重传感器来进行载荷控制。

兼容的称重传感器:晶体生长称重传感器

拉力机用称重传感器 TT-XNⅡ / TT-XNⅡ(G)
TT-XNⅡ / TT-XNⅡ(G)拉力机 TT-XNS / TT-XNS(G) 称重传感器
TT-XNS / TT-XNS(G)
模型TT-XNⅡ(常压型)
TT-XNⅡ(G)(常压气体吹扫型)
TT-XNS(常压型)
TT-XNS(G)(常压气体吹扫型)
额定容量低容量部分:100N高容量部分:500N20N~500N
允许过载600N120%RC
过载保护*
可以是可以是
体重8公斤8公斤
配件φ6,6芯屏蔽电缆,前端
NDIS插孔para(长度待讨论)
φ10,6芯屏蔽电缆,前端
NDIS插孔(长度请咨询)

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*过载保护

  • TT-XNⅡ:

  • 机械制动器在重力方向上约 120% 的负载下保护称重传感器。在相反方向(向上方向),通过将载荷传输部件与称重传感器分离来保护称重传感器。

  • TT-XNS:

  • 在重力方向上,称重传感器在 110% 至 120% 负载时受到机械制动器的保护。在相反方向(向上方向),称重传感器在大约 120% 负载时受到机械制动器的保护。

兼容的称重传感器:用于大直径铸锭负载管理

拉伸/压缩型称重传感器 TU-PGRS□□N/KN-G
TU-PGRS ○○N/KN-G
模型TU-PGRS ○○N/KN-G
额定容量2kN~5kN
负载方向拉伸/压缩
特征超高精度

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切割(线锯)

钢丝张力和锭压制负载由称重传感器监控。
使压住锭的力恒定。

兼容的称重传感器

第355章
第355章
模型第355章
额定容量49N~
负载方向压缩
特征防水性能 IP68
不锈钢


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抛光(抛光/研磨)

用于控制硅片抛光(研磨/抛光)过程中的压力。

测量旋转台的压紧压力(力)

称重传感器安装位置:根据工作流程,可能安装在上抛光段,也可能安装在上下部分。

兼容的称重传感器:用于抛光

拉伸/压缩型称重传感器 TC-FR(T)□□N-G6
TC-FR(T) ○○N-G6拉伸/压缩型称重传感器 TC-NSRSP(T)□□N-G3
TC-NSRSP(T) ○○N-G3拉伸/压缩型称重传感器 TU-PGRS□□N/KN-G
TU-PGRS ○○N/KN-G
模型TC-FR(T) ○○N-G6TC-NSRSP(T) ○○N-G3TU-PGRS ○○N/KN-G
额定容量200N~500N50N~500N100N~500N
负载方向压缩压缩拉伸/压缩
特征所有公司通用形状
的标准型
带溅射薄膜测量仪的
高响应型
超高精度

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兼容的称重传感器:用于包装

拉伸/压缩型称重传感器 TU-GR ✓ KN-G
TU-GR ○ KN-G拉伸/压缩型称重传感器 TU-NR-C□□KN-G
TU-NR-C□□KN-G拉伸/压缩型称重传感器 TU-MXR2(T)□□N-G3
TU-MXR2(T) ○○N-G3
模型TU-GR ○ KN-GTU-NR-C□□KN-GTU-MXR2(T) ○○N-G3
额定容量5kN~1kN~100N~500N
负载方向拉伸/压缩拉伸/压缩拉伸/压缩
特征剪切结构
抗偏心性能、抗疲劳性能
剪切结构
抗偏心性能、抗疲劳性能
适用于小型抛光设备

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晶圆测试

用于测试晶圆上形成的芯片的电气特性时的负载管理。

探针卡压力管理

兼容的称重传感器

拉伸/压缩型称重传感器 TU-GR ✓ KN-G
TU-GR ○ KN-G拉伸/压缩型称重传感器 TU-NR-C□□KN-G
TU-NR-C□□KN-G拉伸/压缩型称重传感器 TU-CR(T)□□N/KN-G6
TU-CR(T) ○○N/KN-G6
模型TU-GR ○ KN-GTU-NR-C□□KN-GTU-CR(T) ○○N/KN-G6
额定容量5kN~1kN~1kN・2kN
负载方向拉伸/压缩拉伸/压缩拉伸/压缩
特征剪切结构
抗偏心性能、抗疲劳性能

剪切结构
耐偏心、耐疲劳
高输出/光束型

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粘合

用于粘合压力管理。

兼容的称重传感器:用于引线键合

压缩式称重传感器 TC-USR(T)29□□N-G3
TC-USR(T)29 ○○N-G3拉伸/压缩型称重传感器 TC-NSRSP(T)□□N-G3
TC-NSRSP(T) ○○N-G3压缩式称重传感器 TC-SR(T)50N-G
TC-SR(T)50N-G压缩式称重传感器 TC-SR(T)100N-G3
TC-SR(T)100N-G3
目的压力压力压力压力
模型TC-USR(T)29 ○○N-G3TC-NSRSP(T) ○○N-G3TC-SR(T)50N-GTC-SR(T)100N-G3
额定容量50N・100N50N・100N50N100N
负载方向压缩压缩压缩压缩
特征过载保护功能
采用高响应型溅射薄膜测量仪
所有公司通用形状
的标准型
所有公司通用形状
的标准型

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拉伸/压缩型称重传感器 TU-MBR(T)□□N-G3
TU-MBR(T) ○○N-G3
目的线材抗拉强度
模型TU-MBR(T) ○○N-G3
额定容量2N・5N・10N・20N
负载方向拉伸/压缩
特征允许过载500%

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兼容的称重传感器:用于倒装芯片接合/芯片接合

拉伸/压缩型称重传感器 TC-NSRSP(T)□□N-G3
TC-NSRSP(T) ○○N-G3压缩式称重传感器 TC-SR(T) ○○NG
TC-SR(T) ○○NG压缩式称重传感器 TC-MFSR(T) ○○NG
TC-MFSR(T) ○ ○ NG
目的压力压力压力
模型TC-NSRSP(T) ○○N-G3TC-SR(T) ○○NGTC-MFSR(T) ○ ○ NG
额定容量50N・100N20N・50N20N・50N
负载方向压缩压缩压缩
特征
采用高响应型溅射薄膜测量仪
所有公司通用形状
的标准型
特殊形状

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最终检查(处理程序)

进行半导体器件的性能评估和合格/不合格判断。

兼容的称重传感器

拉伸/压缩型称重传感器 TC-NSRSP(T)□□N-G3
TC-NSRSP(T) ○○N-G3压缩式称重传感器 TC-SR(T) ○○NG
TC-SR(T) ○○NG压缩式称重传感器 TC-SR(T)100N-G3
TC-SR(T)100N-G3
模型TC-NSRSP(T) ○○N-G3TC-SR(T) ○○NGTC-SR(T)100N-G3
额定容量50N・100N20N・50N100N
负载方向压缩压缩压缩
特征
采用高响应型溅射薄膜测量仪
所有公司通用形状
的标准型
所有公司通用形状
的标准型

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贴片机

它用于控制贴片机的负载,该贴片机用于在电路板安装过程中将电子元件放置在印刷电路板上。

吸附放置板子时测量重量

称重传感器安装在底座底部

兼容的称重传感器

压缩式称重传感器 TC-SR(T) ○○NG
TC-SR(T) ○○NG压缩式称重传感器 TC-MFSR(T) ○○NG
TC-MFSR(T) ○ ○ NG压缩式称重传感器 TC-USR(T)29□□N-G3
TC-USR(T)29 ○○N-G3
模型TC-SR(T) ○○NGTC-MFSR(T) ○ ○ NGTC-USR(T)29 ○○N-G3
额定容量20N・50N20N・50N20N・50N
负载方向压缩压缩压缩
特征所有公司通用形状
的标准型
特殊形状过载保护功能

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化学溶液管理

管理液体和气瓶的剩余量。

使用低地板称重传感器平台秤检测气缸重量

兼容称重传感器(秤)

低平台称重传感器平台秤 TL-LF
TL-LF低平台称重传感器平台秤 TL-PM
TL-PM低平台称重传感器平台秤 TL-PS
TL-PS低平台称重传感器平台秤 TL-PW
TL-PW

TL-LF

模型TL-LF
体重0.4公斤
额定容量0.6/1/3公斤
允许过载120%
特征超小

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TL-PM

模型TL-PM12TL-PM18TL-PM21
体重0.7公斤1.4公斤1.7公斤
额定容量10/20/50公斤
允许过载150%
特征超小

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TL-PS

模型TL-PS12TL-PS18TL-PS21TL-PS25TL-PS28
体重0.8公斤2.0公斤2.7公斤3.8公斤4.5公斤
额定容量10/20/50公斤10/20/50/100/200公斤10/20/50/100/200/300/400公斤
允许过载150%
特征标准型

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模型TL-PS33TL-PS42TL-PS50TL-PS60
体重6.2公斤11.1公斤16.8公斤18.2公斤
额定容量20/50/100/200/300/400公斤50/100/200/300/400公斤100/200/300/400公斤
允许过载150%
特征标准型

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TL-PW

模型TL-PW22TL-PW34TL-PW43TL-PW53TL-PW60
体重3.4公斤7.4公斤12.9公斤21.9公斤23.0公斤
额定容量10/20/50/100/200公斤20/50/100/200/300/400公斤50/100/200/300/400公斤100/200/300/400公斤
允许过载150%
特征标准型



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