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ceramicforum晶片内位错检测仪CS-1
参考价:¥50000

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更新时间:2024-05-21  |  阅读:223

详情介绍

ceramicforum晶片内位错检测仪CS-1

ceramicforum晶片内位错检测仪CS-1

"Crystalline Tester CS1"是非破坏性、非接触式检测可见光(波长400~800nm)透明性晶体材料中由于残留的缺陷、应力引起的晶格畸变后分布情况的便捷式检测设备。通过本设备可以实现快速、准确地把握目检下无法看到的晶体晶格畸变的状态。

ceramicforum晶片内位错检测仪CS-1

产品特征

产品特长

  1. 高速测量(6" 衬底 90秒)
    ・可以最快速度简捷方式观察残留应力分布。

  2. 纵向结晶评价
    ・因为是透视型结晶评价装置,所以不只可以观察衬底表面,还可以观察包括Z轴方向的晶圆所有部位。

  3. 可取得与X-Ray Topography imaging comparison同等测试效果
    ・可以取得同等测试效果,实现高速低成本。

  4. 价格竞争力
    ・在晶片测量装置中,属于性价比好的一款系统。

可测量材料

  1. SiC单晶衬底、及SiC外延衬底

  2. GaN单晶衬底、及GaN外延衬底

  3. AlN单晶衬底、及AlN外延衬底

  4. 可视光可透视、有双折射效果的结晶均可。

测试效果不佳材料

・无可视光透视性材料:Si、GaAs等
・无双折射效果材料:蓝宝石、Ga2O3 等



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