excimer等离子设备臭氧分解装置OZFDT型 

特征

• 分解桌面紫外线照射设备产生的臭氧废气。

• 即使在没有局部排气设备的环境中也能对臭氧进行解毒。

• 非金属催化剂分解高浓度臭氧气体

• 废气浓度 0.1ppm 以下

• 长寿命设计催化剂寿命 1 年

臭氧用于杀菌、除臭、清洗、重整等时，臭氧气体难以排出。如果直接用完，管道和风扇会腐蚀，很危险。如果排到外面，它会扩散，但不安全，因为排气口附近的臭氧气体浓度很高。在工厂，酸废气用抽气机或洗涤器处理，但在工厂外，通常用臭氧过滤器排除。
传统的臭氧过滤器分解器需要大容量、成本高且占用空间大，才能在短时间内处理高浓度臭氧气体。为了配合小型臭氧利用装置使用臭氧过滤器，通常在装置内部放置臭氧过滤器，循环直至臭氧气体被稀释。

我们在半导体制造设备等方面积累了丰富的技术和经验，尽管臭氧过滤器尺寸小，但由于其高性能，因此无需在设备中循环臭氧气体即可一次性排出的废气浓度为0.1 ppm或更少。我们已经实现并销售了带有内置排气扇的臭氧分解装置。这种方法的优点是不需要循环处理，缩短了整个设备的处理时间。此外，由于臭氧分解过滤器在设备外部，因此不存在臭氧过滤器中使用的活性炭和重金属催化剂等成分导致设备内部再污染的结构可能性。单程臭氧消减装置是一种超洁净设计理念。

excimer等离子设备臭氧分解装置OZFDT型 

规格