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更新时间：2024-03-24 | 阅读：1019
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日本ayumi超高真空全金属阀ML-03M
密封部分采用铜垫片，具有密封边缘结构。
拧紧扭矩小。
烘烤温度可达 350°C。
可在真空度高达10-8Pa或更低的情况下使用。
磁盘可更换。
日本ayumi超高真空全金属阀ML-03M
| 形状 | ML-03M |
| 工作压力 | 大气压~10-8PA 或更低 |
| 工作温度范围 | 0~300°C |
| 泄漏量 | 6.7×10-11PA・M3 /秒或更少 |
| 电导（全开） | 8.5升/秒 |
| 密封扭矩 | 5~7N・米 |
| 连接法兰 | ICF 34 |
| 扭矩扳手角度驱动尺寸 | □ 6.35 |
| 关键部件材料 | 阀体：SUS304 密封材料：OFC 波纹管：SUS304（模压波纹管） |
密封部分采用铜垫片，具有密封边缘结构。
拧紧扭矩小。
烘烤温度可达 350°C。
可在真空度高达10-8Pa或更低的情况下使用。
磁盘可更换。
日本ayumi超高真空全金属阀ML-03M
| 形状 | ML-03M |
| 工作压力 | 大气压~10-8PA 或更低 |
| 工作温度范围 | 0~300°C |
| 泄漏量 | 6.7×10-11PA・M3 /秒或更少 |
| 电导（全开） | 8.5升/秒 |
| 密封扭矩 | 5~7N・米 |
| 连接法兰 | ICF 34 |
| 扭矩扳手角度驱动尺寸 | □ 6.35 |
| 关键部件材料 | 阀体：SUS304 密封材料：OFC 波纹管：SUS304（模压波纹管） |
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