• 功能

• 高压
  焊接金属垫片配件

• 调节阀结构

• 针型

• 兼容气体

• 7类特殊高压气体腐蚀性气体，有毒气体
  
  除外

• 标准流量

• ~60吨/分钟

yutaka高压标准半导体制造用压力控制设备L20系列

• 特点

  规范

  入口压力	14.8MPa以下（最大19.6MPa）
  调节压力	最大0.99MPa（量程规格：0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.99MPa ）
  原始压力的波动	进口压力：每0.1MPa，调节压力变化0.00021MPa
  耐压压力	22.2MPa （入口侧）
  简历值	0.09
  工作温度	-10~+40°C
  外部泄漏	1×10-11Pa・m3/s・He （真空方式）
  内部容积	4.67厘米（不包括3个压力表和配件）
  质量	约1.29公斤
  安装方式	使用前面板安装螺母或后螺钉进行安装（见外观）

• L20系列专为高压半导体工艺制造气体而设计，基本结构为外部金属密封和焊接接头，是一种具有优异外部泄漏和颗粒性能的产品。 此外，还提供多种选项来处理各种高纯度气体，使其成为气瓶柜的理想选择。