optiworks 非接触式三维光学测量仪STIL-DUO

实现更精确的表面形状测量。 更宽的测量范围 除了先前型号中使用的
测量方法（“共聚焦色度模式"）外，还安装了新的“干涉测量模式"。 现在可以支持更精确的表面轮廓测量。 两种模式都可以根据所需的测量精度使用，从而扩大了应用范围。

双模控制器

控制器可用于共聚焦色度模式和干涉测量模式。 与以前的型号一样，系统配置易于使用且简单，只需根据所需的测量精度更换笔式模块即可。

测量原理（干涉测量模式）

光源发出的光会反射在测量对象、参考板和参考平面上。 此时，两个反射光之间存在光程差。 如图所示，如果将参考板插入待测物体的前面并尽可能靠近，使光程差进入干涉距离，则两个反射光之间会发生干涉。 由于这种干涉的光谱强度是由波长调制的，因此可以通过轴向颜色校正光学笔进行测量和分析，以实现更精确的厚度测量。

optiworks 非接触式三维光学测量仪STIL-DUO