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thermocera多气氛晶圆退火炉minilab-WCF
参考价:¥10000

型号:

更新时间:2024-03-23  |  阅读:1036

详情介绍

thermocera多气氛晶圆退火炉minilab-WCF

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超高温晶圆退火炉 最高2000°C


多气氛晶圆退火设备,可用于各种
工艺环境下的小规模生产


C/C复合加热器

最高2000°C

碳化硅3涂层加热器

最高1600°C

TiC3涂层加热器

最高2100°C

C/C 复合材料、SiC3 涂层、TiC3 涂层加热器最高温度 2000°C确保

安全性和可操作性 仅晶圆退火 从超高温多气氛炉的新材料和材料的开发,半导体和电子元件的研发等,可广泛用于小规模生产应用。

特征

三种类型的炉子加热器/绝缘材料扩大了碳炉的应用范围。

  • C/C复合加热器

  • SiC3(碳化硅)涂层加热器

  • TiC3(碳化钛)涂层加热器

最高工作温度 2000°C

  • C/C复合加热器

  • TiC3涂层加热器

  • 碳化硅3涂层加热器

PLC 半自动操作(真空/吹扫→排气)

  • 通过触摸屏 HMI 操作

  • *全自动操作也是可能的(面议)

炉膛加热范围

  • Φ4寸 〜 φ8寸

  • 单晶圆或多级盒(5张)批量类型

很多选择

  • 自动炉压调节(APC控制)

  • 用于测量炉中样品温度的附加热电偶

  • 额外的前视口+高温计,用于炉子测量

  • 坩埚旋转

  • 全自动控制

  • 通信功能(使用温度控制功能)或SECS/GEM通信

thermocera多气氛晶圆退火炉minilab-WCF

原理图规格

 C/C复合线材碳化硅3涂层石墨丝TiC3涂层石墨丝
最高工作温度最高2000°C最高1600°C最高2100°C
绝缘石墨、氧化铝、钨、钼、氧化锆等(*因炉内结构而异)
真空室SUS304水冷夹套结构,顶部加载,线性驱动可打开
使用氛围在真空或惰性气体(Ar、N2)中在真空中,惰性气体(Ar,N2),还原气体(H2等)
有效加热范围Φ4寸 〜 φ8寸
极限真空度1x10-2 帕斯卡(* 用于空炉)
真空泵干式涡旋泵(可选:涡轮分子泵)
热电偶C型热电偶
联锁腔室表面温度、加热器超温、冷却水滴、腔室开闭、真空度
公用设施和冷却水加热器额定值最大 8KVA(* 取决于加热范围尺寸),冷却水最大 8l/min 0.4Mpa





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