活跃于各种光刻环境。

光源使用不具有抗蚀剂敏感波长范围的国产高亮度LED。维护工程师和工艺工程师可以放心使用。高效的驱动电路设计，实现了与白光LED同等的功耗水平。采用变焦机构，投光区域可通过操作调节环从宽到窄自由调节。

特征

• 光源使用不具有抗蚀剂敏感波长范围的黄色LED。

• 采用高亮度、高效率的驱动电路。实现与白色 LED 相同的省电水平。

• 平衡合身性和便携性的设计。随附一条带子以确保牢固固定。

SEBAPRO Light（光刻和维护用灯）

一种高强度黄光，非常适合在高级曝光机和涂布机/显影设备等光刻环境中工作。它消除了暴露在白光下的风险，并显着提高了可加工性。

最新型号为充电规范Rev2。

SEBAPRO Light Surface（用于检查不均匀涂层的光）

便于现场检查涂层不均匀性的手持灯。使现场决策更快，大大改善了过程评估和设备条件设置工作。

后继车型于 2021 年 4 月发布。

发射光谱