日本advance riko桌面型快速退火炉MILA-5050

Mila-5050是一款桌面型的快速退火炉，可用于处理φ50mm以内的样品。
用于处理φ20mm以内的Mila-5000系列自推出以来深受客户的认可。随着客户对大尺寸样品处理需求，Advance Riko在Mila-5000的基础上推出可处理φ50mm样品的MILA-5050。MILA-5050延续了MILA5000的紧凑设计，是一款集成加热炉，加热腔及温控器与一体的桌面型快速退火炉。

用途

• 硅片和复合圆晶的快速退火

• 电子材料的快速热退火，例如光学CVD的基板

• 玻璃基板，陶瓷和复合材料等的热处理

• 热循环测试

• 金属材料的热退火

• 涂膜的耐热性评估

• 有机材料和树脂的加热和干燥

特長

• 可对φ50mm以内的样品进行热处理

• 最高热处理温度1200℃

• 集成加热炉，加热腔及温控器与一体的桌面型设计

• 搭配水冷循环腔体，可进行洁净的快速升降温。

• 通过USB连接，可将温控程序输入到电脑

• 加热过程中可通过电脑监测温度数据；

仕様

* 可选配件：真空泵
* 加热温度or升温速率根据被加热样品的红外反射率，吸收率，热容和材料而变化。

均匀性测试

• ① 500℃,Δt = 3.2℃

• ② 800℃,Δt = 0.6℃

• ③ 1000℃,Δt = 4.2℃

• ④ 1200℃,Δt = 2.6℃

样品安装（2英寸样品）

可选配件：SiC包覆的石墨样品台 , 石英样品支架

安装需求

可选配件

• SiC包覆的石墨样品台

• 真空泵 (旋转真空泵，干式真空泵，分子泵)

• 转子流量控制计

• 冷却水流量控制器

• 止回阀（泄压阀）

• 电源线，冷却水管

• 冷却水循环机

• 手提点焊机 HS-9000

• 手提弧焊机HA-1H

日本advance riko桌面型快速退火炉MILA-5050