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日本shibaura换能器型多离子真空计GMi 系列
本产品是一种换能器型多离子真空计,可连接不同量程的测量头。
在将常规方法的多种原理集成到一个外壳中的复杂真空计中,“一根测针需要*更换测针"、“测针复杂易出故障"、“一根测针"。我经常听到客户反馈,例如“贵"。
采用这种方法,可以进行宽带测量,显着降低运行成本,并支持低环境负荷。
广域测量可以测量
从大气压到高真空区域(10 5至 5 × 10 -8 Pa)(同时使用 GPM 和 GAM 时)。
可连接不同量程
的测针,采用多离子规,可根据应用选择测针。
准确的大气压测量
可以轻松准确地确认大气压(使用 GAM 时)
支持低环境负荷
由于可以根据需要仅更换触控笔,因此可以降低运行成本。
配备可检查异常情况的 LED,以提高可视性
易于更换可维护的触控笔
各模式规格(组合模式)
GMi+GPM(离子规+皮拉尼规)
GMi+GPM+GAM(离子规+皮拉尼规+气压传感器)
测量值输出信号
压力为0~10V输出(Log输出)
控制输出信号
设定点 3 点输出是可能的 (GMi-1)
串行通信规格
RS232C / RS485 通信是可能的(GMi-2)
符合标准 符合
CE 标准
模型 | GMi-1 | GMi-2 | |
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规格 | 标准规格 | 串行通信规格 | |
自适应多离子规传感器 | M34 (NW16), M35 (NW25) | ||
可以连接 | 传感器 多离子规 传感器:1 个 皮拉尼规 GPM:1 个(可选) 大气压力传感器 GAM:1 个(可选) | ||
采样时间 | 70 毫秒 4 个移动平均线 | ||
测量值输出 | 输出电压 DC 0 至 10 V,Log 输出 0.75 V / 1 位 压力转换公式 V = 7.25 + 0.75 × (Log P -2) P = 10 ^ {(V --7.25) / 0.75 + 2} * 用于设定点调整也可用作(仅 GMi-1)的输出电源 | ||
更新时间 | 50 毫秒 | ||
控制输入信号 | FIL ON / OFF, FIL 1/2, DEGAS ON / OFF 集电极开路输入,负逻辑 * FIL ON / OFF 信号的使用方法因模式而异。 | ―――― | |
控制输出信号 | 传感器错误,设定点1/2/3 排放Ballid 灯丝电源监控 额定值:24 VMAX,50 mAMAX, 饱和电压 1 V | ―――― | |
串行通信规格 | ―――― | RS232C / RS485 | |
LED显示屏 | POWER / ERROR:电源、错误 LED(闪烁状态取决于每种模式) FIL:发射球 LED | ||
SET1:设定点1 LED SET2:设定点 2 LED SET3:设定点 3 LED | ―――― | ||
发射电流 | 1 mA(1 x 10 -3 Pa 或更小),10 µA | ||
脱气 | 电子冲击解吸法(电子轰击)1 mA,330 V | ||
传感器耐压 | 2 x 10 5 Pa(绝对压力) * 法兰和卡箍的承受压力需要单独考虑。 | ||
传感器内部容积 | 34 厘米3 (M34) | ||
工作温度限制 | 10-50℃ | ||
工作湿度范围 | 15-80%(但无冷凝) | ||
贮存温度 | -20~65℃(不通电时不结露) | ||
知识产权保护等级 | IP30 | ||
电源电压 | DC 20-28 V(纹波、噪声 1% 或更低) 19 W 或更低(电源打开时为 156 W) | ||
输入/输出连接器 | D-sub 15针(M2.6螺丝) | ||
大量的 | 控制器:约 530 克,BA 触控笔(M34):63 克 | ||
外形尺寸 W x D x H (mm) | 144 x 75 x 62 或更小(控制器部分) | ||
符合标准 | 行政长官 | ||
选项 | POWER / ERROR:多离子规传感器 | M34 (NW16), M35 (NW25) 材质:灯丝 1 lr / Y 2 O 3涂层,灯丝 2 W(钨) 其他 Pt C Mo, SUS, W | |
皮拉尼规 | SPU | ||
皮拉尼规传感器 | WP-16 (NW16) 材质:灯丝 Pt、其他 BS / Ni、电镀、镍、焊料 | ||
气压传感器 | GAM (NW16) 材质:SUS316L | ||
单元电缆 | GPM 为 0.5 毫米 GAM为 0.5 毫米 | ||
显示单元 | 1 CH:ISG1 型(使用DC 24 V 电源) 4 CH:IM1R1 型(使用DC 24 V 电源) IM2R1 型(使用AC 100 V 电源) | ||
显示电缆 | GMi 和显示单元之间的电缆 2 m、5 m、10 m、15 m |