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日本fcon质量流量控制器/仪表1000系列
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更新时间:2024-03-21  |  阅读:1227

详情介绍

日本fcon质量流量控制器/仪表1000系列

特征

● 专攻质量流量控制器基本功能的低价机型。
● 追求基本性能的独chuang技术,降低成本,提高产品性能和可靠性。
● 除了固定式电源[PA01],还有面板安装电源[PA01P]。
● 紧凑的尺寸
● 抑制启动时的流量浪涌现象(过冲)(需要 30 秒或更长的间隔)
● 输入/输出:模拟(0 至 5VDC)
● 制药/文化/生物/农业/焊接/气相沉积涂层/分析-可用于各种研究和实验等广泛领域。
*新的根据要求,我们将收费出具证书、成绩单和可追溯系统图,用于我们产品的流量校准。
* 可提供新的流量精度 ± 1% FS。有关可用气体类型和流量等详细信息,请联系我们。

日本fcon质量流量控制器/仪表1000系列

规格
型号:质量流量控制器C1005C1020C1030 / C1050C1100
型号:质量流量计M1005M1020M1030 / M1050――――
流量(N2转化流量)10,20,30,50,100,200,300,500SCCM
1,2,3,5SLM
10,20SLM30,50SLM100LM
对应气体类型各种气体(腐蚀性气体请联系我们)空气 / N2 / Ar / H2 / CO2 / O2 / He空气 / N2
阀门类型NO:常开(不适用于仪表)
控制流量范围5-99% FS(不适用于仪表)
流量精度± 2% FS [* ± 1% FS 可用](精度保证范围 15-35 °C) * 详情请联系我们。
流量设定信号0.25 至 5VDC(不适用于仪表)
流量输出信号0-5VDC
再现性± 0.2% FS± 0.5% FS
响应时间≤ 6 秒≤15秒
所需压差50-300KPa200-300KPa
耐压1MPa (G)
保证工作温度5-50℃,85%RH以下
外漏1 × 10 -7 Pa ・ m 3 / sec He
安装姿势未规定(免费)
供电电压、电流消耗+ 15VDC:60mA,-15VDC:150mA
通讯方式模拟:0-5VDC
气体接触材料质量SUS316L、聚四氟乙烯、氟橡胶
密封材料质量氟橡胶
执行器方式热量(不适用于仪表)
表面处理机加工
连接配件如需 1 / 4in.SWL(等效)、一键式接头和其他接头形状,请联系我们。

* 流量单位“SCCM,SLM"为0℃,1013kPa abs(1atm)标定。
* 请说明您是否希望在 20°C 或 25°C 下校准流量单位“CCM, LM"。



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