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日本fcon质量流量控制器/仪表1000系列
● 专攻质量流量控制器基本功能的低价机型。 |
日本fcon质量流量控制器/仪表1000系列
型号:质量流量控制器 | C1005 | C1020 | C1030 / C1050 | C1100 |
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型号:质量流量计 | M1005 | M1020 | M1030 / M1050 | ―――― |
流量(N2转化流量) | 10,20,30,50,100,200,300,500SCCM 1,2,3,5SLM | 10,20SLM | 30,50SLM | 100LM |
对应气体类型 | 各种气体(腐蚀性气体请联系我们) | 空气 / N2 / Ar / H2 / CO2 / O2 / He | 空气 / N2 | |
阀门类型 | NO:常开(不适用于仪表) | |||
控制流量范围 | 5-99% FS(不适用于仪表) | |||
流量精度 | ± 2% FS [* ± 1% FS 可用](精度保证范围 15-35 °C) * 详情请联系我们。 | |||
流量设定信号 | 0.25 至 5VDC(不适用于仪表) | |||
流量输出信号 | 0-5VDC | |||
再现性 | ± 0.2% FS | ± 0.5% FS | ||
响应时间 | ≤ 6 秒 | ≤15秒 | ||
所需压差 | 50-300KPa | 200-300KPa | ||
耐压 | 1MPa (G) | |||
保证工作温度 | 5-50℃,85%RH以下 | |||
外漏 | 1 × 10 -7 Pa ・ m 3 / sec He | |||
安装姿势 | 未规定(免费) | |||
供电电压、电流消耗 | + 15VDC:60mA,-15VDC:150mA | |||
通讯方式 | 模拟:0-5VDC | |||
气体接触材料质量 | SUS316L、聚四氟乙烯、氟橡胶 | |||
密封材料质量 | 氟橡胶 | |||
执行器方式 | 热量(不适用于仪表) | |||
表面处理 | 机加工 | |||
连接配件 | 如需 1 / 4in.SWL(等效)、一键式接头和其他接头形状,请联系我们。 |