日本filmetrics 3D 表面形状测量系统Profilm 3D

它是一个使用白光干涉技术的系统，可以无接触地测量包括台阶和粗糙度在内的三维形状。
Profilm 3D 适用于测量小样品，涵盖了测量 3D 形状所需的所有功能，并且比传统产品更紧凑、更便宜。
各种测量模式，包括适合高精度测量微米级台阶和形状的垂直扫描干涉测量法 (WLI) 和适合测量纳米级形状和粗糙度的相移干涉测量法 (PSI)。包括标准步骤样品在内的一切都是标准设备，包括用于放大物镜的左轮、自动载物台以及便于操作、分析和管理测量数据的软件。

主要特点

• 低价！
  在配备所有必要功能的同时实现低价
• 纳米级高分辨率
  采用相移干涉法实现高分辨率
• 全标准设备
  XY自动载物台，手动左轮，自动光强调节，自动对焦功能
• 紧凑的外壳
  主体的占地面积为 30 x 30 cm 的紧凑设计。
• 配备 WLI 和 PSI 两种测量模式 一台设备即可
  测量台阶测量和粗糙度测量
• 操作
  简单 基本操作只是简单的鼠标操作
• 符合 ISO 标准的粗糙度测量符合
  标准 ISO25178
• 可扩展性
  多种物镜选择，数据拼接功能

日本filmetrics 3D 表面形状测量系统Profilm 3D

主要应用