日本g-freude非接触式镜片中心厚度测量机CT-Gauge
距离初的模型已经过去了五年。在那段时间里,我们克服了许多问题,对机械和软件进行了全面改进,进一步扩展了功能。
1) 装置外形(测量壁厚的原因)
目前,图像质量正在从4K向8K转变,光学系统的性能也越来越严峻。在这样的技术背景下,除了表面形状和偏心精度外,还规定了严格的中心厚度。
通常,当透镜壁厚偏离设计值时,球差会增加,特别是对于微透镜,壁厚误差会导致球差扩大和焦点位置波动。然而,测量镜片的中心厚度是一个相当困难的测量目标,并且没有建立测量方法。
原因是测量点只有一个,难以明确定位。另外,如果可能的话,我想避免接触测量,这可能会导致划痕。尤其是半导体曝光机用大口径镜头,玻璃材质是有原因的,但要求光学性能高,壁厚公差严格。
测量的另一个原因是我们响应了在镜片加工过程中(特别是在初始阶段)测量壁厚的要求。,软玻璃材料被称为难玻璃材料,由于晶体取向问题,具有被快速刮削的特性。此外,材料成本高,我们希望减少加工错误。因此,需要一种即使表面为磨砂玻璃也可以测量壁厚的设备,在我们的实验中,即使使用抛光砂 80 #也可以测量。
日本g-freude非接触式镜片中心厚度测量机CT-Gauge
◆ 产品配置(以下为标准配置规格)
1)高精度非接触式位移计单元(2个)
2)精密XY扫描平台
3)位移计账驱动机构
4)位移计4轴调整单元(2台) )・ FIX 载物台规格)
5) 新开发的“内置陶瓷
位移计单元(带独立倾斜调整机构)” 6) 通用样品夹持机构(Φ10 至 100 )
7) 控制盒
8) 笔记本电脑用于分析
9)的基础上的3D地形和透镜顶点分析算法定制软件
HYBIRD峰值分析系统(HyPAS)安装
10)布线电缆
* 1样品架需要Φ10或更小(单独出售)的样品
* 2抗振动支架不是特别必要,但好有一个操作环境温度恒定的空调房间。