日本富士工业fuji单组分密度计FUD-1 Model-130

产品总览

该模型在保持FUD-1 Model-13的优势（例如可维护性和高精度的在线测量）的同时，还具有用于半导体制造过程的小型单元变送器。

单组分密度计的特点

可以进行实时浓度测量，并且很容易建立浓度控制系统。

• 配备模拟DC 4至20mA和数字RS232C作为标准设备
• 标配测量误差输出和报警输出
• 配备自诊断功能和错误信息显示为标准配置
• 小巧轻便的电池式变送器可以直接安装在生产线上
• 由于使用PFA的润湿部件的质量和小产量设计，因此对化学溶液没有影响。​

优点

• 高精度连续测量
• 免维护，无需定期调整和校准
• 易于安装，无需在安装过程中进行各种调整
• 通过实时输出轻松反馈到过程​

用途

• CMP过程中的CMP浆料或氧化剂浓度控制等
• 控制稀释过程中各种化学品的浓度（H2O2，TMAH，HNO3，H2SO4，HCl等）
• 清洁过程中的清洁液浓度控制（HF，NH4OH，KOH，IP

​日本富士工业fuji单组分密度计FUD-1 Model-130

规格