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哈司特镍合金压力传送器 压力传感器
参考价：￥

型号：PC-600系列

更新时间：2024-03-19  |  阅读：1410

详情介绍

日本pureron哈司特镍合金压力传送器PC-600系列

半导体设备的生产线中、HBr、HCl等卤素反应性、腐蚀性特殊气体大量被使用。这些腐蚀性气体会在使用的气体供给管道、压力传感器、气体过滤器等不锈钢内表面吸附并 和少量的水分反应，形成腐蚀生成物。这种物质是产生微粒子造成半导体工艺污染的原因。因此，我们采用了远比不锈钢SUS316L具有耐腐蚀性的哈司特镍合金® 开发出这种对应腐蚀性气体的压力传感器PC-600系列。

 

  • 高耐腐蚀性
    对应HBr、HCl等卤素反应性、腐蚀性特殊气体，气体接触部分采用远比不锈钢SUS316L具有耐腐蚀性的哈司特镍合金®，并进行了电解研磨处理，充分发挥了其出色的耐腐蚀性能力。
  • 高精度、高可靠性
    直线性、滞后性、重复精度的影响造成和优拟合线的偏差为±0.25％，具备高精度和高可靠性。
  • 测定范围宽
    表压的压力范围从0～172.4KPA（1.76KGf/cm2）到20,684KPa（210KGf/cm2），压的压力范围为0～2,586torr。
  • 使用寿命长
    各测量范围都通过了100万次的循环耐久测试。
  • 输出
    输出可以选择4～20mA或0～5V，可以连接各种数字式面板仪表和可编程逻辑控制器。

日本pureron哈司特镍合金压力传送器PC-600系列

规格

 

型号 表压※压
PSI25G50G100G200G500G3000G15A25A50A
压力范围KPa0～172.40～344.70～689.50～1,378.90～3,447.30～20,6840～103.40～172.40～344.7
kgf/cm20～1.760～3.520～7.030～14.060～35.160～210.9---
torr------0～7760～1,2930～2,586
精度（％ 全量程)±0.5％±0.25％±0.5％

 

※可选项：表压类型的输出基准可以为真空（-100KPa）。（订购时需要指ding）

 

过载压力全量程×2
保存温度范围-40℃ ～ 85℃ （未通电）
温度补偿范围0℃ ～ 70℃
温度漂移±0.05%　FS/℃
外部泄漏量2×10-11Pa・m3/sec
气体（液体）接触部分哈司特镍合金®
连接零件1/4"　Gasket seal、 Compression seal、其它

 

型号604605
激励电源电压DC 12～26VDC 12～26V
信号输出4～20mA0～5V
跨度16mA±0.16mA5V±0.5V
偏移量4mA±0.4mA0V±0.1V

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