日本pureron内置式陶瓷气体过滤器PGF系列

• 高过滤精度
  在超微LSI制造工艺中，要求必须将原料气体以高纯度的状态输送到使用点。因此原料气体的高纯度化自不必言说，管道系统的超净化亦是一大重点。Pureron Japan 为顺应这一时代的需求，研制出了在元件中使用了陶瓷的全新过滤器，从而实现了具有长久稳定状态的0.003μm的高过滤精度。
• 蚀刻和薄膜形成时必*高选择性
  在追求高选择性的过程中，极其重要的一点是去除水、氧气等不纯物的问题。为了切实地做到去除不纯物，首先必*，是在高温状态下进行烘烤。从该观点出发研制出的陶瓷过滤器可进行200℃的高温烘烤。
• 零维护实现成本削减
  能够根据粒子粒径大小分阶段进行过滤的三层结构，因此几乎不会有堵塞的问题。并且与以往的过滤器相比，具有高耐久性、高耐热性特征的陶瓷过滤器不会在使用过程中出现故障。所以不会因生产线暂时中断而带来经济损失，并可长期持续地削减成本。

日本pureron内置式陶瓷气体过滤器PGF系列

规格