详情介绍
日本ace差压式大流量控制器DPFM / DPFC250系列
该大流量控制器(质量流量控制器)在流体的下游侧具有压力检测孔,并且通过来自流量管内部的压差来测量流量。
随着压差计的发展,我们能够实现宽流量范围和先进的测量。
特点
1. 可以测量小尺寸和大流量。在湍流中测量压差,流路直径小,流路长度短。
对于传统的热力类型,湍流是层流的,因此无法在大流量下实现小型化。
EX)500SLM:流路直径1/2“流路直径5”
2.流量计通过测量超低压力损失和微小压差,以几乎与管道阻力相同的高速响应。
检测对象
目标气体流量/压力(目标)
流量:100SLM,200SLM,500SLM,1000SLM,2000SLM,4000SLM
压力:大气压至0.99MPa
标准校准压力:0.2MPa,0.5MPa (需要指ding)
目标气体:N2,空气, H2,用于CH4,Ar,CO2氢气的Max1000SLM(将来将考虑使用2000SLM)
日本ace差压式大流量控制器DPFM / DPFC250系列
规格
目标气体 | N2,空气,H2,CH4,Ar,CO2 |
供给(入口)压力 | 0.4-0.7MPaG |
下游(出口)压力 | 相对于供给压力为-0.2MPa以下 |
满量程流量(1) | 300SLM(L / min:0°C,1 atm转换) |
切 | 设定低于2%FS时控制阀关闭 |
准确性 | ±1%FS |
重复性 | ±0.5%FS |
使用(精度保证)范围 | 0至50°C(10至40°C:保证精度),无凝结 |
反应性 | 在2秒钟内设置值(典型值) |
冲突 | 1/2英寸SWL |
耐压 | 0.99兆帕 |
电源电压 | DC24V±10% |
外部输入 * C / C * SET | *闭合:控制,打开:关闭 * 0-5VDC |
外部输出 *警报 * OUT | *报警时: 与关闭的设定流量之差:上限和下限(9.9%FS) 主机异常(电源电压) * 0至5VDC |
气源压力(用于阀门驱动) | 0.4-0.7MPaG |
供气竞赛 | ф4毫米一键式 |
外密封 | 1x10 -7 Pa ・ m 3 /秒(He) |