详情介绍
日本sanyu electron台式快速涂布机SC-701MkⅡ
特征
直流溅射类别中系列中z小的超紧凑机型
小型溅射装置,可以轻松地制造电极薄膜
标配间歇溅射功能
使用专yong的样品台和载物台可以轻松更改TS之间的距离。
应用/结果示例
各种设备的电极膜附件
用于制造反射薄膜等的应用
日本sanyu electron台式快速涂布机SC-701MkⅡ
基本规格
阴极 | φ2英寸/平板型电极 |
溅射靶 | 包含金靶 |
气体导入机制 | 针阀 |
间歇功能 | 标配 |
真空泵 | 直连式旋转泵:20l / min(带自动泄漏) |
箱体尺寸 | 内径φ90mmx D90mm(SUS制) |
样品交换方法 | 前门开合式 |
尺寸(宽/深/高) | 主体:160/326 / 286mm RP:300/160 / 200mm |
重量 | 身体:10公斤RP:9公斤 |