日本ulvac膜片干式排气的真空泵DAL-181

概要

通过橡胶薄膜(膜片)的往复运动而排气的真空泵。 结构简单,易于操作。 DA系列是标准型。

特点及使用时的注意事项

• 膜片泵通过橡胶膜片的往复运动来形成真空。泵体结构采用无油环境设计,因此维护简单。根据您对压力和腔体的要求可以选择各种不同的泵速和双段/单段设计。

规格参数

#1: 表压

日本ulvac膜片干式排气的真空泵DAL-181

电源电压

■TUV认证是由执行产品安全测试及认证的第三方组织审查，符合欧洲规格的高品质产品。

特别说明

• 如果泵在负载运行期间停止,然后再立即重新启动,则可能无法重新启动。 在这种情况下,需使泵内部恢复到大气压状态。
• 请勿吸入腐蚀性气体,有机溶剂,液体或可凝性气体(例如水蒸气)。 另外,请确保异物,灰尘等不进入泵内
• 如果泵在接近大气压的条件下长时间运行,泵可能会在短时间内发生故障