日本napson非接触涡流法薄层电阻测量装置NC-10（NC-20）

产品特点

• 使用个人计算机节省空间，易于操作和数据处理
• 由于它是一种非接触式涡流方法，因此可以进行测量而不会损坏它。
• 由于探头是可拆卸和可更换的，因此可以方便地用每个量程的探头进行替换。
• （*对第二个和后续电阻探头的可选支持）
• 中心1点测量
• 厚度/温度补偿功能（硅晶片）

测量规格

测量目标

半导体/太阳能电池材料相关（硅，多晶硅，SiC等）
 新材料/功能材料相关（碳纳米管，DLC，石墨烯，银纳米线等）
 导电薄膜相关（金属，ITO等）
 硅基外延，离子与
 半导体相关的进样样品化合物（GaAs Epi，GaN Epi，InP，Ga等）
 其他（*请与我们联xi）

测量尺寸

3-8英寸〜156 x 156毫米
（可选; 2英寸或12英寸〜210 x 210毫米）

日本napson非接触涡流法薄层电阻测量装置NC-10（NC-20）

测量范围

[电阻] 1m至200Ω·cm
（*所有探头类型的总范围/厚度500um）
[板电阻] 10m至3kΩ / sq
（*所有探头类型的总范围）

*有关每种探头类型的测量范围，请参阅以下内容。
（1）低：0.01至0.5Ω/□（0.001至
0.05Ω- cm）（2）中：0.5至10Ω/□（0.05至0.5Ω-cm）
（3 ））高：10至1000Ω/□（0.5至60Ω-​​cm）
（4）S-高：1000至3000Ω/□（60至200Ω-cm）