日本napson非接触式涡流法电阻测量仪EC-80

产品特点

• 简单的测量仪器，只需将样品插入探针之间即可进行测量
• 在电阻/薄层电阻测量模式之间轻松切换
• 使用JOG拨盘轻松设置测量条件
• *由于探头是固定的，因此您可以在购买前从几种类型的探头中选择一种。

测量规格

测量目标

半导体/太阳能电池材料相关（硅，多晶硅，SiC等）
新材料/功能材料相关（碳纳米管，DLC，石墨烯，银纳米线等）
导电薄膜相关（金属，ITO等）
硅基外延，离子与
半导体相关的进样样品化合物（GaAs Epi，GaN Epi，InP，Ga等）
其他（*请与我们联xi）

测量尺寸

〜8英寸，或〜156x156mm

日本napson非接触式涡流法电阻测量仪EC-80

测量范围

[电阻] 1m至200Ω·cm
（*所有探头类型的总范围/厚度500um）
[抗页电阻] 10m至3kΩ / sq
（*所有探头类型的总范围）

*有关每种探头类型的测量范围，请参阅以下内容。
（1）低：0.01至0.5Ω/□（0.001至
0.05Ω- cm）（2）中：0.5至10Ω/□（0.05至0.5Ω-cm）
（3 ））高：10至1000Ω/□（0.5至60Ω-​​cm）
（4）S-高：1000至3000Ω/□（60至200Ω-cm）