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日本光进电气koshin超声波清洁设备MegaS_BW
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更新时间:2024-03-16  |  阅读:1020

详情介绍

日本光进电气koshin超声波清洁设备MegaS_BW


这是一种超声波清洁设备,用于清除由400MHz超声波产生的气泡中附着在半导体晶片上的细小污垢。

用途
  • 清洗半导体晶圆
  • 微电子零件的清洁
  • 清洁精细加工的零件
特征
  • 利用压电效应,它甚至可以通过超声波振动清洁z细的零件。
  • 通过将其浸没在液体中来使用。

规范

附属产品

系列/代号输出频率电源电压发电机外壳发电机零件质量清洁区尺寸 
1兆赫1千瓦1兆赫230VAC 50/60赫兹19英寸机架安装约8kg约171 x 173毫米 
400兆赫1千瓦400兆赫230VAC 50/60赫兹19英寸机架安装约8kg约171 x 173毫米 
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