更新时间：2022-03-02 
阅读：1384日本朝日分光光学膜厚仪OMD-1000产品介绍
这是一种分光膜厚监测监视器，可在气相沉积过程中用单色光监测基板上的光量变化。也用于本公司自有的薄膜蒸镀装置，作为蒸镀部件制造商的专有技术，作为膜厚监测装置完成。
以往机型的波长选择是滤光片型，但新产品搭载了本公司业绩良好的分光器，现在可以选择任意波长。
膜厚变化信号由电压输出转为与个人电脑兼容的数字输出，控制机构由手动操作转为个人电脑指令控制。此外，通过I/F直接与个人电脑连接，可以控制膜厚计主体，是一个非常紧凑的系统，不需要像其他制造商那样的控制器。
带光谱仪的紧凑型设计
通过提高抗噪性实现高度可靠的膜厚监测（静电放电测试耐压±5 kV）
可通过来自 PC 的命令进行自动控制
通过将控制器集成到接收器主体中实现高性价比
| 模型 | OMD-1000 |
| 光谱仪类型 | Czerny Turner 型单色 |
| 波长范围 | 保证范围：380 至 900 nm 可操作 范围：350 至 1100 nm |
| 波长分辨率 | 狭缝 0.5mm：4.2nm [546nm] 狭缝 1.0mm：8.3nm [546nm] |
| 波长精度 | ± 1.0 纳米 |
| 小波长馈电 | 0.1nm |
| 外部控制 | RS232C |
| 外部输出端子 | DC0-2V（满量程） |
| 采样间隔 | 100ms 或更多 |
| 静电放电试验耐压 | ±5kV（实际8kV） |
| 光源 | 12V100W卤素灯 |
| 光强度稳定性 | ±0.1%/小时以下 |
| 输入电压 | AC100V 50 / 60Hz |
| 允许输入电压 | AC85-132V |
| 视在功率 | 340VA以下 |
| 使用环境 | 温度10-35℃ 湿度20-80% |
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