日本东丽氧化锆式氧气计在半导体行业的运用
氧气表半导体/液晶/电子元件相关应用半导体、电子元件用氧分析仪
MS-500、LC-450A、LC-450D、LC-860
氧气计 MS-500
- 多可同时测量 8 个点
- 可以显示从 ppm 级到 99% 的各种浓度。
- 适合安装在半导体制造设备、真空设备等上。
- 传感器为直插式（NW 法兰用于真空 16/25/40）
- 高度耐用的传感器采用特殊涂层，以进一步提高耐用性。
氧气计LC-450A、LC-450D
可以显示从测量的ppm 水平到 99% 的广泛浓度范围。- 提高传感器的耐用性
氧传感器经过特殊处理以提高其耐用性。 - 交流宽电源 AC100-240VAC (LC-450A)
* LC-450D由24V DC驱动 - 紧凑且易于安装
深度比我们的传统型号更短，并且不占用太多空间。 - 符合 RoHS 指令的产品
- CE标志自我声明产品
EN61010-1：2002、EN61326：+A3：2003
氧气计LC-860
- 低浓度测量 可测量从
ppb级到99% - 操作简单
按键操作简单 - 吹扫功能
比较 气体更稳定，测量精度更高（仅限带吹扫功能的规格）。 - 高可靠性传感器 传感器
内部也可进行劣化防止处理（可选）
更新时间：2021-06-25 
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