日本OKK紫外线照射器概述

紫外线照射器是一种用紫外线照射和固化紫外线固化胶带/薄膜的设备。在半导体芯片制造工序中研磨或切割工件的背面研磨和切割等工序中，剥离保护带时用作固化应用。

有两种模式，一种是照射任意积分光量*¹的积分照射模式，另一种是照射任意时间的照射时间模式，可以在设定的条件下照射UV。

LED规格和全自动型在我们的高压水银规格-手动型黑光规格中的黑光规格准备，我们必须按照开发和生产计划排列各种紫外线照射设备。

近年来，我们拥有配备LED光源UV-LED的全自动设备阵容，我们正在努力降低运行成本，并考虑到环境资源来设计设备。

紫外线照射器

• 手动
  
  黑光规格

  UVI-MA-系列

  它是一种台式紫外线照射装置，可固化紫外线固化胶带胶水、粘合剂等。

  

  对应工作尺寸	6寸/8寸/12寸
  对应帧	6inch 切割框 x 2  8inch 切割框 x 1 12inch 切割框 x 1 (*不能照射整个12inch)
  设备外形尺寸	W520 x D550 x H200 (mm)
  设备重量	约30公斤
  类型	说明书（黑光规格）

• 全自动
  
  高压水银规格

  FHUV-系列

  它是一种使用具有强辐射能量的灯的紫外线固化装置。

  

  对应工作尺寸	6、8寸切块架
  设备外形尺寸	8英寸型：W1300 x D1100 x H1650（毫米）
  设备重量	8inch型：约550kg
  类型	全自动（高压水银规格）

   
• 全自动
  
  黑光规格

  FBUV-系列

  它是一种自动取出盒提供的晶圆框架，用紫外线照射它并存储它的设备。

  

  对应工作尺寸	6、8 英寸或 8、12 英寸
  设备外形尺寸	8 英寸类型：W 660 x D1030 x H1160（毫米） 12 英寸类型：W1050 x D1100 x H1200（毫米）
  设备重量	8 英寸型：约 200 公斤 12 英寸型：约 200 公斤
  类型	全自动（黑光规格）