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日本advance riko桌面型快速退火炉MILA-5050介绍说明
更新时间:2021-05-14      阅读:1650

日本advance riko桌面型快速退火炉MILA-5050介绍说明

Mila-5050是一款桌面型的快速退火炉,可用于处理φ50mm以内的样品。
用于处理φ20mm以内的Mila-5000系列自推出以来深受客户的认可。随着客户对大尺寸样品处理需求,Advance Riko在Mila-5000的基础上推出可处理φ50mm样品的MILA-5050。MILA-5050延续了MILA5000的紧凑设计,是一款集成加热炉,加热腔及温控器与一体的桌面型快速退火炉。

用途

  • 硅片和复合圆晶的快速退火
  • 电子材料的快速热退火,例如光学CVD的基板
  • 玻璃基板,陶瓷和复合材料等的热处理
  • 热循环测试
  • 金属材料的热退火
  • 涂膜的耐热性评估
  • 有机材料和树脂的加热和干燥

特长

  • 可对φ50mm以内的样品进行热处理
  • 高热处理温度1200℃
  • 集成加热炉,加热腔及温控器与一体的桌面型设计
  • 搭配水冷循环腔体,可进行洁净的快速升降温。
  • 通过USB连接,可将温控程序输入到电脑
  • 加热过程中可通过电脑监测温度数据;

规格

控温范围RT ~ 1200 °C
升温速率50 °C/s
样品尺寸□ 50 or φ 50 × t 2 (mm)
气氛真空,流动气氛
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