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日本okk全自动紫外线照射器FBUV系列技术
更新时间:2021-04-07      阅读:1418

日本okk全自动紫外线照射器FBUV系列技术

通过一键式设置变更转盘,即使是不同尺寸的工作也能均匀照射!

概述
黑光规格的全自动紫外线照射器是
一种自动取出暗盒提供的晶片框架,用紫外线照射并存储它的设备。切块后,施加紫外线使其更容易拾取,从而降低了胶带的粘合强度。
通过自动更改设置支持8英寸和12英寸晶圆框架。
特征
每个暗盒都可以全自动照射。
旋转式转盘可实现均匀且均匀的紫外线照射。
各种紫外线照射条件(时间设置或集成的光强度设置)
紫外线照度实时显示在触摸屏上。
由于采用了黑光规格,因此功耗低。
兼容8英寸/ 12英寸录xiang带。(可以通过触摸面板自动更改设置)
 

规格

尺寸

宽770 x深1090 x高1200(毫米)

重量

约250公斤

驱动空气

0.4-0.5Mpa 65L /分钟

紫外线照度

9mW /cm²或更高

N 2

0.4-0.5Mpa 100L /分钟

电源

AC100V 50 / 60Hz 30A

 

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