一、旗舰高精度实验室款（0.01μm 分辨率｜ESC 绝缘薄膜 / 超薄涂层首1选）

1. HKT-Master 0.01AA（静电卡盘运维标1杆机型）

• 分辨率：0.01μm，量程 0~500μm

• 恒定测量压力：0.14N（微压，不划伤陶瓷绝缘层）

• 测头：R30 碳化钨球形耐磨探头，适配陶瓷硬材质长期测量

  适配场景

  Fujiwork ESC 陶瓷绝缘镀膜厚度、吸盘表面研磨去除量、晶圆吸附区域微小段差、腔体内部拆机精密检测；半导体厂 ESC 预测性维护主力机型，规避人工压力偏差造成厚度误判。

  优势：气动匀速下压，杜绝手压误差，可输出 RS232 数据对接 MES 品质系统。

2. FT-D200H 高分辨率连续测厚机株式会社フ...

二、薄膜专用超薄量程款（3μm 起测｜超薄介电层、边缘镀膜测量）

FT-A200R（超薄膜专用）

• 量程：3~100μm，分辨率 0.01μm，重复精度 0.05μm

• 可调测压 0.3N，针对 Fujiwork ESC 边缘超薄绝缘涂层、侧壁镀膜厚度测量，适合镀膜工艺来料检验。

FT-A200（标准薄款）

三、经济型台式精密测厚（车间质检、入库检测）

1. HKT-Lite0.1 轻量化精密型

2. MIL-20UDS / MIL-20DX 工业标准台式测厚仪株式会社フ...

四、便携式手持高度 / 厚度计（机台现场巡检、腔体内部就地测量）

Handy-0.1（手持高精度）

Handy-1.0（通用手持）

五、大行程高度计（ESC 整体总高、定位凸台、支撑柱高度测量）

1. 尼康 MF 系列位移高度计（MF501+TC 控制器）

   0~50mm 行程，0.01μm 分辨率，搭配花岗岩底座，测量 ESC 整体高度、台阶落差、平行度；

2. 三丰 192 系列数显高度规 HD-AX

   300~1000mm 量程，卡盘工装装配高度校准。

六、选型对照表（直接对照工况选型号）

七、配套选型配件（Fujiwork 原厂选配）

1. 陶瓷测量平台（φ50 陶瓷底座）：防止卡盘底面划伤；

2. 碳化钨替换测头：陶瓷硬质测量耐磨耗材；

3. RS232 数据采集软件：厚度数据自动归档、SPC 制程统计；

4. 气动升降模组：全自动下压，适配自动化检测台集成。