在工业生产和科学研究中，对材料表面镀层或薄膜厚度的精确测量是确保产品质量和性能的关键环节。日本电测（NIPPON DENSHOKU）的荧光X射线膜厚仪EX-851以其先进的技术和性能，为多个行业提供了高效、精准的测量解决方案。

01 多行业应用的广泛适应性

DENSOKU EX-851荧光X射线膜厚仪的技术特性使其能够适应多种行业和场景的测量需求。

电子与半导体制造是该设备的核心应用领域之一。在半导体制造过程中，EX-851可用于检测晶圆的表面质量、光刻胶的厚度等，确保半导体器件的制造精度。 它还能测量电子元件的外观和性能，如电容、电阻等元件的外观缺陷。

汽车工业同样受益于这款仪器。它能够使用光学测量设备检测汽车零部件的表面质量、材料性能等，确保零部件符合设计要求。

在金属加工与电镀行业，EX-851表现出色。它可以进行单层镀层测量、两层镀层测量、三层镀层测量、合金膜厚成分比同时测量以及化学镀镍测量。 特别是对于铬（Cr）、镍（Ni）等元素的测量，其重复精度显著提高2。

食品与药品检测是另一个重要应用领域。通过光谱分析技术检测食品和药品的成分，确保其符合质量标准，如检测食品中的添加剂、农药残留、营养成分等。

环境监测领域也可使用这款仪器。通过光学传感器监测大气中的污染物，如二氧化硫、氮氧化物等，为环境治理提供数据支持。

研究与开发领域是EX-851的另一个用武之地。科研机构利用其高精度测量能力进行材料科学研究，分析材料的成分、结构和光学性质。

02 技术特性与产品优势

DENSOKU EX-851荧光X射线膜厚仪集成了多项先进技术，提供了出色的测量性能和用户体验。

自动对焦功能是EX-851的一大亮点。只需将测量单元对准激光指示器的位置并关上门，仪器便会自动移动至测量值并执行测量。测量完成后，打开门，载物台会自动返回原位，大大简化了操作流程。

双重过滤器系统确保了测量精度。通过使用除数值滤波器以外的机械滤波器（双重滤波器），仪器能够在最佳条件下进行测量，始终获得高的精度。

灵活的准直仪配置满足了不同测量需求。仪器内置5种准直仪，最小准直仪为0.1φmm，可以测量极小的零件。标准配置包括0.1、0.2、0.5、1.0、2.0φmm准直仪，还有两种特殊规格可选。

强大的数据处理和报告功能提高了工作效率。通过采用MS-Windows软件，用户可以轻松捕获测量屏幕，增强了报告创建功能。多任务功能允许即使在测量过程中也能进行包括报告创建在内的其他处理。

先进的自诊断和维护功能确保了设备长期稳定运行。自诊断功能可以迅速识别和解决设备故障，还有显示X射线管使用时间和使用寿命的功能，以支持维护安全。

选配Be窗口X射线管进一步提升了性能。对于铬（Cr）和镍（Ni）的测量，重复测量精度显著提高：Cr的重复性提高了约3倍，Ni的重复性提高了约2倍。测量两层结构时，中间层中Ni的测量精度提高了约20%。

快速测量和分析能力节省了宝贵时间。多通道光谱分析高速处理使显示被测物的光谱变得容易，处理速度仅约2-3秒。

直观的结果展示方式便于数据分析。三维图形显示可轻松查看测量对象的镀层厚度分布，提供了更直观的数据展示方式。

03 符合工业环境要求的设计

DENSOKU EX-851不仅测量性能出色，其硬件设计也充分考虑了工业环境的需求。

仪器测量台尺寸为200 x 200 mm，运动量为X轴200mm、Y轴200mm、Z轴90mm，能够测量高度最大90mm的样品。 整体尺寸为740（W）x 530（D）x 660（H）mm（不包括突起部分），重量约为85kg。

安全性能方面，EX-851配备了X射线电源钥匙开关和故障安全功能，确保了操作过程中的安全性。

EX-851融合了高精度测量与高效工作流程，无论是半导体芯片上的超薄涂层还是汽车零部件上的厚镀层，它都能提供准确可靠的数据支持。

随着工业技术不断发展，对测量精度和效率的要求将越来越高，DENSOKU EX-851这样的高性能测量仪器将在质量控制和工艺优化中发挥更加关键的作用。