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反射率测量设备选型:MSP-100 同类产品全清单
更新时间:2025-08-13      阅读:338

以下是 Shibuya-opt MSP-100 系列反射率测量仪 的同类/替代产品全清单,涵盖不同行业需求(光学镀膜、半导体、显示等),并附关键参数对比:

一、高精度微区反射率测量(<100μm光斑)

型号品牌波长范围光斑尺寸精度特点适用行业
MSP-100UVShibuya-opt380-1050nmφ50μm±0.02%紫外敏感,非接触测量,适合半导体光刻胶检测半导体、光学镀膜
USPM-RUⅢ奥林巴斯380-780nmφ30μm±0.01%膜厚+反射率联测,干涉法高精度光学镀膜、单层膜分析
Filmetrics F20KLA(美国)190-1700nm10μm±0.1%薄膜厚度+反射率同步分析,毫秒级测量半导体、MEMS
SRT100北京某贸易商250-1100nm500μm-5mm±0.5%可测5层薄膜折射率/反射率,支持实时在线测量液晶显示、光学涂层
SR100Angstrom Sun250-1100nm500μm-5mm±0.5%快速测量(2ms),支持多通道升级半导体、纳米材料

二、宽光谱反射率测量(紫外-红外)

型号品牌波长范围光斑尺寸特点适用行业
MSP-100IRShibuya-opt近红外(定制)φ50μmInGaAs传感器,高信噪比红外光学、热控涂层
410Vis-IR安洲科技335nm-21μm模块化探头可见+红外双测量头,支持太阳能吸收率计算航空、太阳能、建筑
SSR-ER帝恩斯(美国)太阳光谱模拟25.4mm孔径16种大气条件测试,NIST溯源航天、热控涂层
RT100未知品牌200-2500nm1mm透射/反射联测,积分球兼容显示面板、滤光片

三、便携式/工业现场适用

型号品牌波长范围精度特点适用场景
15R-RGB美国某品牌多波段(RGB+IR)±0.002便携式,5波段测量,太阳能反射镜检测太阳能、户外检测
C84-ⅢPUSHEN可见光(固定角度)±1%低成本,适用于涂料遮盖力测试建筑涂料、质检
NR4510三恩时可见光±0.5%手持式,即开即测,适合产线快速检测工业现场、快速质检

四、科研级高精度设备

型号品牌波长范围精度特点适用领域
Horiba SmartSpec 3000Horiba深紫外-THz0.001%超高研究级,低温恒温样品仓量子材料、二维材料
kSA SpectRkSA(美国)220-2500nm±1%实时镀膜监控(MBE/MOCVD),适合半导体外延生长半导体外延片研发
Sentech SE 850Sentech椭偏+反射联测纳米级可分析光学常数(n,k),适合超薄膜研究高光学镀膜

选型建议

  1. 光学镀膜:MSP-100UV(高精度)或 USPM-RUⅢ(膜厚联测)。

  2. 半导体:Filmetrics F20(微区)或 kSA SpectR(实时监控)。

  3. 显示行业:RT100(宽光谱)或 410Vis-IR(太阳能优化)。

  4. 工业现场:NR4510(便携)或 15R-RGB(多波段)。


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