超纯水专用的钛制热交换器

由于材料是钛，与特氟龙相比，可以得到非常大的热交换效率。
利用紧凑且所需的冷却水量较少的优点，即使在设备局部线路上控制水温，由于安装空间小，这也是一个巨大的优点。
价格也比特氟龙制造的要低，可以以低成本提供。
可以替代传统的特氟龙制造的热交换器使用。

超纯水

• 由于不纯物和金属离子的溶解极少（保持在TOC 10ppb的水平），因此与特氟龙制造的热交换器具有同等的清洁度。
  （在多家半导体制造设备制造商中都有实绩。）

臭氧水

• 臭氧水也可以正常使用。

通过世界的钛合金烧结超级清洁制造方法，利用钛制造的烧结专用技术开发了原创热交换器，该技术适用于部件和连接材料。
成功实现了从传统的特氟龙热交换器大幅缩小的尺寸。
由于体积缩小，变得轻便且不占空间，便于安装。

半导体制造商的成分分析符合标准值

• 在TOC=10ppd的情况下，达到超级清洁。实现了无污染！

• 非电阻=15MΩ以上でクリア。

与特氟龙制造的热交换器比较

• 1. 价格便宜

• 2. 非常紧凑

• 3. 降低冷却水的流量（使用量）（节能）

• 4. 在冷却水温度和接近的水温下，可以提取超纯水
  (最大温差2°C以内)