3B真空计（弯曲带束）全面提高了热阴极电离真空计的三个测量极限：“软X射线”、“电子冲击解吸（ESD）”和“气体释放”。可以测量高达-11Pa的压力。

高精度离子计头，X射线极限约为5×10⁻12Pa（不到传统EX计的1/40），可实现XHV的高精度测量

有效灵敏度为 2.4⁻⁴A/Pa（4mA 时） ，比传统产品
高2.5 倍。

气体释放量低于传统产品（SUS）的1/10
采用真空结构材料0.2% BeCu

使用市售控制器可测量高达 10⁻11Pa

与传统产品和技术的差异

离子束从带状圆筒栅格的侧面取出，并在240°弯曲位置捕获。全面提高热阴极离子计“软X射线”、“电子刺激（ESD）”和“气体释放”三大测量极限的新型测量方式，可测量高达10⁻12Pa I的压力。我是个孩子。

带有铂铱合金栅和氧化钇涂层铱丝的离子源电极嵌入超低释气真空结构材料 0.2% BeCu 合金共面法兰 (ICF070) 中，以实现低释气。

推荐用途/应用

XHV（高真空）研究

XHV/UHV真空设备

XHV/UHV分析设备...等

产品规格