daico在线加热器（CL 加热器）产品介绍

大工制作所的在线加热器（CL加热器：Chemical Line Heater）在接液部分使用高纯度石英玻璃，用于半导体制造湿法工艺中各种化学溶液和纯水的高温加热，并使用卤素的红外光能量使用灯加热器的清洁加热装置。

特征

   ① 清洁度

　      接液部件采用石英玻璃制成，金属离子溶出极低，并具有优异的耐热性和耐化学性。

　      另外，由于它采用光辐射加热方式，因此加热器损坏时不会产生金属污染。

   ② 高效热源

　      具有快速启动和关闭时间的卤素加热器。 85%以上红外转换及投射。

③安全 

　      配有超温传感器、过热检测传感器和漏电检测引线。

         ・另外需要检测器。

　　　・请在不同的系统中使用干热检测传感器和过热检测传感器。

④维护 

     　 采用单端加热器，存储紧凑，维护方便。

内部结构

温升数据

规格

*不能用于浸泡石英玻璃或氟树脂的化学溶液。

*石英管配件请自行准备。 （石英管施工标准：与Nippon Pillar Industries石英接头兼容）

*1 还备有配管直径为 φ20mm 的“-20P"型。

*2 外壳（L）尺寸不包括石英顶部和底部管道的IN/OUT尺寸。