更新时间：2024-07-04 
阅读：789兼容Ni、Cr、W、Ti、Al等多种金属的高规格紧凑型镀膜机
DC 溅射类别中最小的超紧凑型号。
配备皮拉尼真空计，确保成膜条件的再现性
标准配备手动快门
使用专用的样品台和载物台可以轻松改变 TS 之间的距离。
可以进行钨涂层，因此也可用于制备高分辨率 SEM 样品。
将电极膜粘贴到各种设备上
用于反射薄膜生产等。
| 阴极 | φ2英寸直流磁控管/扁平电极 |
| 适用对象 | Au/Pt/Au-Pd/Pt-Pd/Ag/Pd/W/Ni/Mo/Cr/Ti/Al |
| 压力测量 | 皮拉尼真空计 |
| 压力控制 | 带针阀手动控制 |
| 工艺气体 | 氩气 |
| 真空泵 | 直联旋转泵：20L/min（带自动泄漏） |
| 腔室尺寸 | 内径φ90×D90mm（SUS材质） |
| 样品交换方式 | 前门开闭方式 |
| 尺寸（宽/深/高） | 机身：160/450/290mm 转速：295.5/156/199.5mm |
| 重量 | 本体：9kg RP：9kg |
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