有机薄膜的厚度膨胀测量用-激光热膨胀仪LIX-2系列

可以以最小分辨率 1 nm 检测有机薄膜、低膨胀玻璃、金属等厚度方向的微小热膨胀。
测量热膨胀的方法包括推杆法、光学干涉法、遥测法和电容器法。
它采用双光路迈克尔逊激光干涉测量法，被认为是现有的精确的测量方法。
通过使用零摩擦平移镜，只需将样品端面加工成球面即可轻松进行测量。
此外，通过使用可选的石英垫片，可以在改变温度的同时测量所需的薄膜厚度。LIX-2 双路迈克尔逊激光干涉膨胀仪是业界的商用型号。

目的

• 有机薄膜的厚度膨胀测量

• 低膨胀玻璃高精度膨胀测量

• 低膨胀金属材料的质量控制测量

• 密封剂膨胀的测量

• 各种电子元件的精密热膨胀测量

• 标准膨胀计校准样品的测量

特征

• 使用平行移动样品架可实现稳定测量

• 超精密测量，读数分辨率为 1nm

• 通过使用石英样品，还可以测量厚度为50至500μm的薄膜和薄板的厚度方向。

标准

平行移动样品架符合JISR3251-1995

规格

测量原理

公用事业

测量示例

零膨胀玻璃的测量结果

*经评估，所有产品在±150°C范围内的热膨胀系数均为10 -8 /K。