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溅射仪SC-701MkII 介绍
更新时间:2024-01-31      阅读:419

溅射仪SC-701MkII 介绍

兼容Ni、Cr、W、Ti、Al等多种金属的高规格紧凑型镀膜机。

特征

  • DC 溅射类别中最小的超紧凑型号。

  • 配备皮拉尼真空计,确保成膜条件的再现性

  • 标准配备手动快门

  • 使用专用的样品台和载物台可以轻松改变 TS 之间的距离。

  • 可以进行钨涂层,因此也可用于制备高分辨率 SEM 样品。

用途和结果示例

  • 将电极膜粘贴到各种设备上

  • 用于反射薄膜生产等。

基本规格

阴极φ2英寸直流磁控管/扁平电极
适用对象Au/Pt/Au-Pd/Pt-Pd/Ag/Pd/W/Ni/Mo/Cr/Ti/Al
压力测量皮拉尼真空计
压力控制带针阀手动控制
入口直径 φ6mm 一触式接头
工艺气体氩气
真空泵直联旋转泵:20L/min(带自动泄漏)
腔室尺寸内径φ90×D90mm(SUS材质)
样品交换方式前门开闭方式
尺寸(宽/深/高)机身:160/450/290mm 转速:295.5/156/199.5mm
重量本体:9kg RP:9kg



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