强光检查灯185le在半导体行业的运用
在集成电路制造中,对晶粒表面的缺陷进行检测至关重要,如裂纹、碎片和烧痕等,这些缺陷可能影响晶粒的质量和性能。这些缺陷的性质多变,位置各异,基于规则的机器视觉难以准确检测。同时,还需要避免标记对芯片质量不造成影响的微小畸变,以提高效率。考虑到芯片尺寸各异且数量众多,传统的人工检测方法低效且不切实际,还可能引入无尘室的污染。
185le强光检查灯可以识别晶粒表面上各种不可接受的外观缺陷,这些缺陷对于基于规则的视觉检测系统而言过于复杂或耗时。该工具检查晶粒的表面,以检测是否有裂纹、碎片或烧痕。
主要型号:高照度表面检查灯185LE/185FI/185LE-AL/370TFI/R/100LE
高照度照明设备(表面检查灯) 185LE-AL是目视检查晶圆、镜头、玻璃基板的表面等为目的的光源。
适合于TFT面板、CF(彩色滤光片),触摸屏制造等行业。
规格参数:
大照度 | 照射距离 310mm、 照射直径径 55mmφ 时照度在 400,000 Lux以上) | |
光源 | 直流点灯 17V/185W 卤素灯 | |
照度调整 | 连续可调至大照度的 20% | |
冷却方式 | 强制空冷 | |
使用温度范囲 | 0 ~ 40℃ | |
电源电圧 | AC 95V ~ AC 260V, 50/60Hz | |
功率 | 250W | |
尺寸 | 光源 | 136mm H × 112mm W × 150mm D |
电源 | 229mm H × 90mm W × 250mm D | |
重量 | 光源 | 1.2kg |
电源 | 3.6kg | |