圆晶表面清洁度检测的重要性

晶圆表面的洁净度会影响后续半导体工艺及产品的合格率，早期曾有文献指出，在制造过程中，因未能有效去除晶圆表面的污染而产生的耗损，在所有产额损失中，可能占达 50% 以上的比例。故上海路阳仪器有限公司根据半导体行业客户需求，研发出一款FY-18系列台式表面检查灯，三种光源可供选择，适用于产品表面划痕、污垢、异物的目视检查。FY-18系列装有匀光板，不刺眼，无级调光设计，客户可以调整到自己理想的光照度。采用无风扇设计，可在洁净室中使用，50cm灵活的柔性臂，可任意角度照射。

• 配备18W大功率LED

• 瞬间点亮，无需预热

• 具有调光功能

• 对被照射物体无热影响

• 由于无风扇，因此即使在洁净室中也可以使用。

• 可通过柔性臂进行微调

FY-18N（白色）透明滤光片

安装绿色滤光片

标准设备

清除

扩散

可选（单独出售）
可在 500 至 600 nm 波长下进行检测。

绿色的

黄色的