异物去除率（OLED）比较

与OLED玻璃板清洗的比较

测量有机EL制造过程中附着在各薄膜上的异物去除率的数据，证实了与超声波+高压清洗相比的压倒性差异。异物的去除率直接影响产量。

特点	无刷子等耗材，大大降低运行成本
	仅使用“纯水"
	显著减少化学品的使用
	显著提高清洁能力
	也用于清洁半导体
基本配置	无金属污染的蒸汽发生器
	超声波蒸汽喷射喷嘴
	与洗衣机的沟通
蒸汽发生器	蒸汽产生量：2~100kg/h * 可提供与所需蒸汽量相对应的尺寸。
	电源： DIW， N2， CDA， 200VAC 或 100VAC
	蒸汽压力控制范围：0.05-0.3MPa
应用/成就示例	【应用】・太阳能电池基板的清洗・LED制造中的金膜剥离・半导体制造工艺・玻璃基板等的清洗・异物和聚合物的去除・去除油脂、指纹等・医疗应用・美容应用