sena 目视检查高强度照明器介绍
SENA Superbeam 是一种用于晶圆、透镜和玻璃基板表面检测的照明设备,汇集了 30 多年的专业知识。 通过采用的透镜和专用灯,使照射区域的照度保持均匀,可以获得强而稳定的光线。
在半导体前端制造过程中,化学和机械力结合作用使表面平滑的CMP(化学机械平面化)工艺有时会导致诸如裂纹和划痕缺陷之类的表面损坏。为了有效地解决这一风险,需要对表面纯度和平面度进行非破坏性,非接触式,波长敏感的视觉检查。研华提供的机器视觉整体解决方案涵盖工业级图像传感器,高级计算,多核处理器和VisionNavi应用软件,这是一种基于用户友好的基于流程图的界面,可以简化开发和部署,分支和循环功能,先进的视觉应用程序,并通过全局快门支持多种任务和摄像机,以提供精确而高效的半导体生产。
用途
晶圆表面质量检查
液晶滤光片和彩色滤光片检查
玻璃镜片表面划痕和异物检查
硅玻璃表面划痕和异物检查
光掩膜表面划痕和异物检查
胶片表面划痕和异物检查
陶瓷表面检查
金属表面(铝、不锈钢、铜等)
触摸屏表面检查
汽车油漆质量
| 超高照度LED照明器件SELONE N ★ 长寿命(20,000小时)LED ★ 内置光圈,可调节照射直径 由轻质且高度散热 ★的铝制成 ★ 照度为200,800 lx以上,照射距离为000 mm
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| 广角 LED 照明器件 SEL ONE ★ 长寿命 ★(20,000 小时)LED 内置光圈,可调节照射直径 由轻质且高度散热 ★的铝制成 ★ 照射直径200mm φ照射距离135mm
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| 超高强度卤素灯185LE ★提供 3 种型号(标准/宽/窄) ★ 专用灯很容易 ★用引线替换。 灯箱采用内置热保险丝,确保安全。 ★ 通过稳压直流照明系统实现稳定的照度
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| 超高强度卤素灯 185LE-AL ★ 铝制灯箱重 1.2 公斤 ★ 可选择拱形握把和锤形握把 手动 ★式,非常适合检测大型面板 ★ 基本性能与185LE标准型相同
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| 选项和特殊订单 ★ 各种 ★滤光片定制灯 使灯箱能够运行的配件 ★ 洁净室等的排气管 ★ 定制和改造以满足新需求
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| 光纤照明装置 185FI ★ 光纤导光板,减少 ★热量 照明部分和主机可以安装在不同的地方 灯箱可以 ★固定在支架上 ★ 可选导光长度(0.25~3m)
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| 光纤照明器 370TFI/R ★ 采用双光纤光导的超高照度 ★ 远程控制是标准设备 ★ 辐照部件和主机可以安装在不同的地方 ★ 可选导光长度(0.5~5m)
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| 超高强度激光照明器 350LSFI ★ 照射距离 ★为220mm时照度为1,400,000 lx或更高 通过输出控制进行照度调整 ★,单位为 % 过滤器更换器 (RGB) 是标准设备 ★ 可选导光长度(1米/2米/3米)
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